MEMS壓力傳感器有什么應用？

壓力傳感器是一種將壓力轉換成電信號并輸出的裝置，主要由將壓力轉換成電信號的壓力敏感元件和處理電信號的信號處理裝置組成。壓力傳感器有MEMS、電阻式、電容式、壓電式和光學式等多種類型，廣泛應用于各種設備中。

一、MEMS壓力傳感器

美蓓亞三美使用 MEMS 技術和應變片技術來制造壓力傳感器，其特點是接口的輸出格式也分為模擬和數字兩種。此外，MEMS壓力傳感器具有更小的量程，可用于-50kPa-50kPa的領域。

二、MEMS壓力傳感器的應用

MEMS壓力傳感器可用于血壓計和其他醫療設備的袖帶壓力測量，也可用于燃氣表泄漏檢測、異常壓力檢測和燃料供應壓力檢測。主要的應用領域如下所示。

1、自動化工廠中的壓力傳感器

工廠自動化行業使用 MEMS 壓力傳感器的一種方式是控制工廠所用設備的氣壓（氣體壓力）和液壓，并利用測量到的信息進行適當的設備操作。

有些機器手也是利用壓力的 "吸力型 "設備，可以通過 MEMS 壓力傳感器進行精細控制，在不損壞產品的情況下處理要抓取的產品。

2、血壓計用壓力傳感器

美蓓亞三美作為主要的血壓計用壓力傳感器供應商，在日本本土及海外都設有生產基地，生產的MEMS 壓力傳感器已應用于多種血壓計。

3、汽車行業 壓力傳感器被安裝在汽車內部的各種環境中，并根據不同條件進行封裝。如在發動機控制中，壓力傳感器被安裝在進氣、排氣、汽油罐等部位用于檢測氣體和液體。此外，為防止電動汽車使用的鋰電池出現熱失控，使用壓力傳感器的電池監測技術正在不斷開發。

MEMS壓力傳感器結合了半導體技術和傳感器技術，將電子電路和機械元件集成為一個獨立組件，使產品 "更小、更輕、更精密"，在提升設備性能和便利性，促進設備小型化和輕量化等方面發揮了重要作用。