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在MEMS和AFE核心技術領域擁有雄厚實力的美蓓亞三美集團旗下三美電機株式會社(以下簡稱三美電機),以“室內設備壓力可視化 ”為主題推出了一款新產品MMR920系列壓力傳感器。產品具備小型化、低功耗的優勢,能夠以±1%FS的精度測量±3.92kPa的壓力范圍。
MMR920系列采用新型MEMS結構,提高了內部MEMS芯片的靈敏度,并配備了24bit⊿ΣADC,能夠以較高的有效分辨率進行準確的壓力測量。它可以檢測空調設備、冷氣機、換氣扇等因過濾器堵塞而引起的內部壓力變化和醫療器械等因呼氣而引起的微小壓力變化。
MMR920系列傳感器采用7mm小型表面貼裝式封裝和新型背面受壓封裝結構,具有防潮防塵功能,有助于縮小安裝側基板的尺寸和減少設計工時,從而實現空調和醫療器械的進一步小型化。
特點
① 新型MEMS結構提高了產品靈敏度。通過采用將壓力集中在壓電元件上的結構,靈敏度比MS901系列高出約4.59倍。
② 專利技術實現了從MEMS芯片背面受壓的結構,這在過去的小型表面貼裝型封裝中很難實現。這項專利技術實現了產品小型化的同時,還能確保防止濕氣和異物從噴嘴部分進入內部。
③ 產品內部安裝了高性能24bit⊿ΣAFE,實現了傳感器的高速響應和高分辨率(低噪音)。
④ 傳感器的偏差和溫度特性在出貨時已得到校正,因此無需復雜的傳感器驅動/控制電路/校正。
*已取得日本專利(專利第7352076號,專利第7323810號)
主要用途
空調設備、冷氣機和換氣扇
CPAP和呼吸輔助設備等醫療器械
電子管樂器 等
產品照片
三美電機制造MMR920系列
產品規格
● 工作電壓范圍 : 3.0~3.6V
● 工作壓力范圍 : ±3.92kPa
● 工作溫度范圍: -40~60°C (* 后續將推出-40~85°C 產品)
● 電流消耗: 0.8mA
● 壓力精度 : ±1.0%FS
● 轉換時間: 0.4 / 0.8 / 1.6 / 3.2 ms(可選)
● 有效分辨率:1.9 / 0.9 / 0.4 / 0.2 Pa RMS(與所選轉換時間對應)
● 接口:I2C / SPI
封裝:MEMS-12B
尺寸:7.0 x 7.0 x 7.2(W×D×H)mm